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      RTF1200轉動式PECVD系統

      RTF1200轉動式PECVD系統

      RTF1200

      產品介紹

      用戶評價

      (1)、表面溫度高可達1420℃

      (2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

      (3)、Kanthal電阻絲資料下載

      (4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com

      (5)、電阻均衡、溫場均衡性好                                                                                                         


      當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。


      該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

        

      1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

      2、采用日本技術成型。

      3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

      4、采用4周加熱,溫場更加均衡


      1. 為了增加抽氣速率,達到更高真空的要求??蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系統接口皆為KF25)

      2. 如用于供氣系統,可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭. 

      3.  轉動電機功率: 40W

      4. 電動推桿功率:40W

      5.  爐子傾斜角度: -10~30度

      6.  爐管轉動速率 :采用無級變速電機  轉速可在1-25轉/min 之間可調

      7.  轉動密封方式 : 采用轉動磁流體密封

      8. 四周表面溫度:≤45℃

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